隨著干式真空泵的應用越來越多，不合理的操作會影響產品的質量、數量和維護成本，某些工藝過程中的反應物質會嚴重惡化真空泵中的介質，使泵無法正常工作。因此，選擇合適的設備非常重要。

　　1.雙葉型。它的設計非常類似于流行和廣泛使用的羅茨泵。事實上，一些干式泵的早期設計理念是堆疊羅茨泵。這種多級設計使得氣體通道非常復雜，每個通道都需要大量氮氣來稀釋和隔離作用。同時，為了達到良好的真空度，對各級間隙有非常嚴格的要求。
　　2.內部壓縮螺釘類型。除了使用一對非等距螺釘之外，內壓縮螺釘設計和外壓縮螺釘設計的基本原理非常相似。螺釘之間的體積減小導致螺釘內部壓縮。由于內部壓縮，這種設計將其功耗降低到與多級泵相同的水平
　　3.組合設計采用羅茨泵在較低壓力下提高泵送效率，采用爪式泵在較高壓力下提高泵送效率。它的基本原理和氣體通道與上述圓形凸角設計完全相同。在許多過程中，組合設計的每一層都需要大量的氮氣來稀釋和隔離作用。
　　4.外部壓縮螺釘類型。使用一對等距螺釘。這使得內部壓縮更小，并且使得氣體通道更短和更簡單。這樣，氣體在干式真空泵中停留很短時間。盡管由于內部壓縮比的降低，這種設計的功耗相對較高，但它在許多復雜的半導體工藝中顯示出高穩定性。這種單級設計使得氮氣消耗的要求非常小和簡單，這使得它在不同的工藝中具有良好的互換性。在許多清潔過程中，甚至可能不使用氮氣。
　　通過以上對這些設備的詳細介紹，要先確定所購設備的類型和型號，并選擇合適的設備。具體內容可以咨詢我們的廠家。